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橢圓偏振技術 - 维基百科
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日期:2024-07-15
橢圓偏振技術(ellipsometry)是一種多功能和強大的光學技術,可用以取得薄膜的介電性質(複數折射率或介電常數)。它已被應用在許多不同的領域,從基礎研究到工業應用,如半導體物理研究、微電子學和生物學。橢圓偏振是一個很敏感的薄膜性質測量 ......看更多