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氣體微流量校正新利器誕生 - 國研院儀科中心
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日期：2024-08-21
隨著奈米世代的來臨，攸關我國經濟命脈至鉅的半導體產業也將邁入奈米等級， 對於氣體的微流量控制精度要求必須達到 0.1 sccm 以下。基於此需求本中心於 九十一年底開發完成一套能夠提供 1 sccm 至 10 −4 sccm 微小氣體 流量控制儀進行精密校正的原級微 ......看更多
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