行業製程減廢及污染防治技術-半導體業介紹

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日期:2024-08-27
環保技術輔導計畫 晶圓初成品 清洗 氯化爐 第一層光罩 擴散爐 第二層光罩 氧化爐 第三層光罩 濺鍍機 第四層光罩 晶圓成品 (初步氧化) (P 區光阻、蝕 刻、清洗) (擴散、離子植 入) (閘區及接點區 光阻、蝕刻、...看更多