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Cleanroom Classification Standards
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日期:2024-07-14
3-7 空氣的潔淨度(cleanliness)區分等級 z聯邦標準209(A至D)之定義是每立方英呎 的空氣中所含有≧0.5μm的微塵粒子數。z聯邦標準209(E版本)用公制的命名法。zISO 14644-1標準很快地被各國採用。z依照ISO 14644-1標準作為無塵室分類之規...看更多