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建置半導體潔淨室線上節能評估系統
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日期：2024-08-09
2012年11月23日 ... 全面空調. (2).需高潔淨度環境故換氣量極大. (3).製程排氣量極大故需引進大量外氣.
(4).需精密溫濕度 ... 熱負荷的計算是潔淨室所需空調能力的一個重要考量，也是在
進行節. 能考量時所需要 ..... Forms範例如右圖所示. 三、系統規劃與 ......看更多
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