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四點探針 - NCKU, 成功大學-微奈米科技研究中心
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日期：2024-09-09
片電阻(Sheet Resistance)是傳導性材料之重要特性之一，尤其是導電薄膜。片電阻值 會受到薄 膜厚度、晶粒尺寸、合金比例與雜質濃度等因素影響，因此在製程過程中，常常會仔細的監控片 電阻值，以建立片電阻與晶片良率之間的關係 ......看更多
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