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![濺鍍原理 - 創新技術](https://www.iarticlesnet.com/pub/img/site/s_15.jpeg)
濺鍍原理 - 創新技術
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日期:2024-08-13
使用脈衝直流電漿濺鍍。其主要原理是在真空環境,將陰極加至數百伏特電壓,讓通
入的氣體因高電壓而起輝光放電作用形成電漿,並利用電漿的正離子轟擊金屬靶材 ......看更多