電子束蒸鍍機的原理與應用 - 國立臺北科技大學研發總中心

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日期:2024-09-22
加熱法中不能蒸鍍 的膜性良好的氧化膜。 擴大電子束之掃描範圍,即增大蒸發源面積,有 ... 蒸鍍系統參數 真空度(提高平均自由路徑) 溫度(提供能量) 鍍率(氧化物之氧化程度) 氧壓(氧化物之氧化程度 ......看更多