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濺鍍實驗講義 - 私立天主教輔仁大學 物理系
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日期：2024-09-06
陰極板的負電壓 吸引加速，轟擊陰極靶材表面，且隨著電流密度增大，電壓也會 隨著增加，也就能是提高濺鍍功率，使效率增加 ... 頻率為13.56MHz 絕緣靶材上因自我偏壓效應形成直流補償負電 位，吸引電漿中 的正離子轟擊靶材，使的靶材原子或分子附著 ......看更多
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