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物理氣相沈積 - 俊尚科技股份有限公司
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日期:2024-08-08
... 鍍(Evaporation),蒸鍍源由固態轉化為氣態,濺鍍(Sputtering),蒸鍍源則由氣態轉化為電漿態。這些不同的項變化衍生出各種PVD技術,其中以濺鍍法(Sputtering) ......看更多