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![國立成功大學電機工程研究所碩士論文](https://www.iarticlesnet.com/pub/img/site/s_41.jpeg)
國立成功大學電機工程研究所碩士論文
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日期:2024-07-07
來沉積電極與壓電薄膜來製作薄膜型塊體聲波共振器(Film type bulk acoustic wave
... 1800 Å,而壓電層氮化鋁的厚度為2.7ìm 所製備的FBAR 元件,所量. 得的共振 ......看更多