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日期：2024-09-07
財團法人國家實驗研究院 國家奈米元件實驗室 TCP9400機台製程腔體真空渦輪馬達(Turbo Pump) 維修 招標規範書 說明 TCP9400為本實驗室前段製程之多晶矽乾式蝕刻機台，機台端製程腔體真空渦輪馬達(Turbo Pump)因管線真空計損壞造成誤動作，導致Turbo ......看更多
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