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含有氧化鋅緩衝層之氧化鋅透明薄膜電晶體特性研究 - 國家圖書館全國 ...
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日期:2024-08-02
本論文主在探討增強型下閘極氧化鋅透明薄膜電晶體元件特性,利用射頻共濺鍍系統
濺鍍成長氧化鋅緩衝層與含微量鋁金屬氧化鋅通道層薄膜,並比較有無氧化鋅緩衝 ......看更多