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3D 表面輪廓儀(白光干涉儀)主要應用 - ZYGO
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日期:2024-08-06
光學輪廓儀式MEMS 元件,表面特徵的一 種非常有用的工具。光學輪廓儀被用來測量樣品的表面特性。 但是,在測量過程中,所測量的樣品需保持在靜止的狀態下,如果樣品不穩定或者 處於運動狀態則會引 起圖像混亂模糊、資料不完整或者資料遺失等現象。...看更多