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奈米通訊。第七卷第三期31.電子束微影技術之鄰近效應修正(I)
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日期：2024-07-21
... 圖案定義的真確性， 這種效應稱為鄰近效應(proximity effect)，必須設法加以克服以得到較無失真的圖案。本文主要在介紹鄰近效應的原理及其修正的技術，並適度地 ......看更多
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