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奈米通訊。第六卷第四期 30.銅製程之擴散阻障層
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日期：2024-08-27
銅製程之擴散 阻障層 吳文發1、黃麒峰2 1國家奈米元件實驗室副研究員、2清華大學材料研究所碩士班研究生 前言 積體電路的製作技術已邁入ULSI (ultralarge-scale ......看更多
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