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奈米通訊。第六卷第四期30.銅製程之擴散阻障層 - 國家奈米元件實驗室
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日期:2024-08-25
銅製程之擴散阻障層. 吳文發1、黃麒峰2. 1國家奈米元件實驗室副研究員、2清華大學
材料研究所碩士班研究生. 前言. 積體電路的製作技術已邁入ULSI ......看更多