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![「離子植入法+退火處理法」。](https://www.iarticlesnet.com/pub/img/site/s_45.jpeg)
「離子植入法+退火處理法」。
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日期:2024-07-08
這些元素藉由熱擴散法或離子植入法摻入矽中,目前以離子植入法為主流。 雜質摻入 .... 絕緣層的產生,也就是氧的植入等,需要使用高能量離子植入機。此外,源極/汲 ......看更多