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雷射干涉儀之應用與原理 - 南台科技大學知識分享平台: EshareInfo
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日期：2024-08-05
5.旋轉量測 6.平坦度量測 五、 結論 雷射干涉儀與不同鏡組的配合可以進行不同的量測，而雷射干涉儀所使用的 光源為氦氖穩頻雷射，這是為了避免當雷射光源強度 及波長有變化時，將使光 干涉的結果產生不良的誤差，伴隨著高科技時代與半導體產業及 ......看更多
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