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1x奈米挑戰劇增 電子束車拼光學晶圓檢測技術 - 懂市場 - 新電子科技雜誌
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日期：2024-08-10
1x奈米製程將引燃晶圓缺陷檢測技術新戰火。光學檢測囿於解析度限制，已無法滿足1x奈米晶圓驗證要求，遂使得新一代電子束技術快速嶄露頭角；不過，現階段電子束檢測效率仍低，須待可多支電子槍同步掃描的多重電子束...看更多
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