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![電漿源原理與應用之介紹](https://www.iarticlesnet.com/pub/img/site/s_14.jpeg)
電漿源原理與應用之介紹
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日期:2024-08-12
文/張家豪,魏鴻文,翁政輝,柳克強 李安平,寇崇善 吳敏文,曾錦清,蔡文發,鄭國川 摘要 電漿科技已廣泛應用於科學研究及工業製程,成為現代科技的重要指標。本文將介紹國內在電漿源方面的研發,其中包括電感式電漿源,微波表面波電漿源 ......看更多