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日期：2024-08-12
廣義而言，所謂的蝕刻技術，包含了將材質整面均勻移除及圖案選擇性部份去除的 ... 負載效應就是當被蝕刻材質裸露在反應氣體電漿或溶液時，面積較大者蝕刻速率較 ......看更多

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