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蝕刻(Etching)
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日期:2024-08-11
9 乾式蝕刻的原理 乾式蝕刻是以電漿,而非濕式的溶液,來進行薄膜蝕刻的 一種技術。 乾蝕刻的優點為非等向性蝕刻。 乾蝕刻的非等向性主要是利用粒子轟擊的物理現象進行,這種粒子轟擊的現象,不但可以在被蝕刻的薄膜上進行,...看更多