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![反應性射頻磁控濺鍍原理](https://www.iarticlesnet.com/pub/img/site/s_13.jpeg)
反應性射頻磁控濺鍍原理
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日期:2024-07-10
反應性射頻磁控濺鍍原理. 濺鍍(sputtering)製程是使用電漿(plasma)對靶材進行
離子轟擊(ion bombardment),將靶材表面的原子撞擊出來。這些原子以氣體分子 ......看更多