電漿蝕刻原理的相關文章
電漿蝕刻原理的相關公司資訊
電漿蝕刻原理的相關商品
![Chapter 7 電漿的基礎原理 - 義守大學 I-Shou University](https://www.iarticlesnet.com/pub/img/site/s_08.jpeg)
Chapter 7 電漿的基礎原理 - 義守大學 I-Shou University
瀏覽:973
日期:2024-07-14
電漿的基礎原理 2 目標 • 列出至少三種用到電漿的半導體製程 • 列出電漿中的主要三種碰撞 ... 電漿蝕刻 反應室 • 重度離子轟擊產生大量的熱量 • 需控制溫度以保護光阻遮蔽層 ......看更多