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鸟嘴效应_百度百科
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日期:2024-07-25
由于氧化层消耗的硅更厚,所以在氮化物掩膜下的氧化物生长将抬高氮化物的边缘。
即为鸟嘴效应。 解决方法:这是LOCOS ......看更多