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半導體科技新聞- 淺層溝渠隔離技術- Semicondutor News ...
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日期:2024-07-19
如圖一所示,場氧化層的水平生長(鳥嘴效應),場摻雜離子的水平擴散,以及小尺寸場
氧化層的薄化效應都是將區域氧化隔離 ......看更多