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Cimlab AMHS group - 清華大學電腦整合製造與管理研究室 - 國立 ...
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日期:2024-08-01
因此,藉由自動化物料搬運系統(Automated Material Handling System,簡稱AMHS
)將晶圓有效率且準確地傳送至目的地,將會是12吋晶圓廠具備的基本設施,也是為 ......看更多