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《評論》cryo pump原理 - Yahoo!奇摩知識+
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日期：2024-08-09
這時候套一句話"殺了它"，重生了!Regen就是再生的意思，將cryo pump做升溫的動作，此時蜂窩狀組織所有氣體分子獲得熱能重新移動，不過這時候配合dry pump抽走，反覆通入N2，heater,關N2，pump down，升溫到200~300度之間 (這個要看pump配合的其它 ......看更多
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