SEM の EDX 装置による定性・定量分析の技術向上と 分析精度の検証

SEM の EDX 装置による定性・定量分析の技術向上と 分析精度の検証

瀏覽:1165
日期:2024-09-05
1-5. SEM に用いられるX線検出器と分析装置 一般的には,エネルギー分散型X線分析装置(Energy Dispersive X-ray Spectrometer,EDX またはEDS)と波長分散型X線分析装置(Wavelength Dispersive X-ray Spectrometer,WDX...看更多