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日期:2024-07-29
2012年3月6日 - 本文介紹使用濺鍍法製造非晶氧化物(a-IGZO)通道層的薄膜電晶體之成果。 ... 圖1、 濺鍍沉積中控制O2之壓力可控制a-IGZO薄膜之導電率,濺鍍沉積 ......看更多