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![MEMS,什麼是MEMS?-電子工程專輯](https://www.iarticlesnet.com/pub/img/site/s_05.jpeg)
MEMS,什麼是MEMS?-電子工程專輯
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日期:2024-08-20
微機電系統(Micro Electro Mechanical Systems,MEMS),其定義為一個智慧型微小
化的系統,包含感測、處理或致動的功能,包含兩個或多個電子、機械、光學、化學、 ......看更多