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微系統製造與實驗習題（92）
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日期：2024-10-04
請分別以Miller Index 標示下圖中，矽晶格之晶面. (a). (b). (c). Page 3. 3/5. 3. 請說明
如何以V-groove depth ruler 作為蝕刻{100}晶圓30 micron 薄膜的厚度判斷。 4. ...
假設矽晶圓在KOH 的蝕刻速率為{100}方向：50 μm/hr, {110}：70 μm/hr , {111}：0....看更多
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