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電漿源原理與應用之介紹 - 中華民國物理學會 The Physical Society of Republic of China
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日期：2024-07-08
物理雙月刊（廿八卷二期）2006 年4 月 441 環繞電流方向的時變磁場 (B)，此磁場穿透介電窗，於電漿腔中感應產生一與RF 電流反向之電場 (E)，此 電場加速電子並感應形成電漿電流 (Jp)。由於此電磁 感應機制與與變壓器原理相同，其中線圈為變壓器之...看更多
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