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旋轉塗佈的原理和用途 - Yahoo!奇摩知識+
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日期：2024-08-05
最近學到旋轉塗佈,網路上查了又查都搞不清楚在講些甚麼,請各位大大幫幫我~~~感恩 ... 旋轉塗佈(Spin Coating)： 旋轉夾盤(spin chuck)利用真空吸住玻璃基板後，將化學物質（像半導體或TFT廠用光阻）由上方噴嘴(Nozzle)滴在玻璃或晶圓片上，在晶圓片或玻璃基板 ......看更多
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