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原理說明: - 博精儀器股份有限公司
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日期:2024-07-16
原理說明: 以C 60 離子槍在表面噴濺蝕刻時,如下圖所示當C 60 離子往下時,因為其體積較大且C 60 為中空的結構,當它觸及樣品表面時,C 60 的結構也隨之潰散,使得能量在樣品表面就消散,並無法傳遞至表面以下,所以在使用C60離子槍噴濺蝕刻的時候 ......看更多